מידע על המוצר
שלבי המתכוף מתחת ל-Bump (UBM) הבאים מפיקים תוצאות מיטביות על נחושת וסגסוגות נחושת:
טיפול מקדים
- ניקוי – Epithas MCL-10 – תכשיר ניקוי חומצי בטבילה, המסיר לכלוך וזיהומים מהמשטח ומרטיב אותו לשיפור מעבר התמיסה. (זמין גם: MCL-067 – תכשיר ניקוי חומצי תואם CMOS בקצף נמוך.)
- מיקרו-צריבה – מסירה תחמוצת מפני הנחושת ומחספסת אותה, לשיפור היצמדות הניקל.
- שטיפת חומצה – מבטיחה שפני הנחושת נקיים מתחמוצת וששאריות נחושת הוסרו.
- טבילה מקדימה (Pre-dip) – ממזערת את דילול החומצה באמבט המשפעל שאחריה.
- משפעל (Activator) – MCT-14 – משפעל יציב במיוחד לנחושת וסגסוגותיה, המתאים להפעלת פדי נחושת מבודדים לפני שקיעת ניקל. אמבט הטבילה MCT-14 מחליף נחושת וזורע עליה פלדיום, והפלדיום מזניק את שלב ציפוי הניקל הכימי האוטו-קטליטי. שכבת הניקל משמשת כמחסום דיפוזיה הניתנת להלחמה או ל-Wire Bonding בחוט אלומיניום.
ציפוי
- ניקל כימי – NPR-18 – אמבט ניקל כימי חומצי מתון, שנוסח למעגלים בקווים דקים בציפוי פרוסות סיליקון. מאפשר שקיעה ללא גשרים; יציב מאוד וקל לשימוש. תכולת זרחן 6–8% בשכבה.
- זהב בטבילה – TDS-20 – אמבט זהב נטול ציאניד, שתוכנן במיוחד ליישומי הרכבה משטחית וציפוי פרוסות. pH ניטרלי; אינו מאכל את שכבת הניקל. מספק אמינות מעולה של נקודות הלחמה, גם בכדורי הלחמה קטנים. שכבת הזהב הדקה שומרת על יכולת הלחמה לאורך זמן ומונעת חמצון ופסיבציה של הניקל.
- זהב אוטו-קטליטי – TMX-15 – אמבט זהב אוטו-קטליטי נטול ציאניד ב-pH ניטרלי, שתוכנן ליישומי הרכבה משטחית וציפוי פרוסות. אינו מאכל את שכבת הניקל, ולכן מספק אמינות מעולה של נקודות הלחמה.
מומלץ על TDS-20 כשכבת בסיס, ועל ניקל כימי NPR-18 עם זהב כימי TMX-15.
Tech-Knowledge מספקת כיסוי מלא ותמיכה טכנית לחומרי Uyemura בישראל.