מידע על המוצר
שלבי המתכוף מתחת ל-Bump (UBM) הבאים מפיקים תוצאות מיטביות על פרוסות סיליקון / SOI:
תהליך תואם CMOS למתכות אלומיניום
- ניקוי – Epithas CACL-067 – תכשיר ניקוי חומצי בטבילה לטיפול מקדים בפרוסות סיליקון, כולל SOI, לפני תהליך Epithas Ni/Au.
- מיקרו-צריבה – LEC-19 – מסיר תחמוצת טבעית מפני אלומיניום וסגסוגותיו. טיפול מקדים לניקל כימי על אלומיניום בפרוסות סיליקון, כולל SOI.
- זינקט – MCS-30 – אבץ חומצי בטבילה לציפוי פרוסות סיליקון; ממזער את מסיסת האלומיניום ומבטיח שכבת אבץ דקה ואחידה לציפוי הניקל הכימי שאחריו.
- ניקל כימי – NPR-18CM – פותח ליישומי ציפוי פרוסות עם מעגלים בקווים דקים. אמבט יציב מאוד, המאפשר שקיעת ניקל ללא גשרים. פעולה בטמפרטורה נמוכה לעמידות משופרת של ה-Resist. תכולת זרחן 6–8% בשכבה. עמידות 100 שעות ברסיס מלח (ASTM B117). היצמדות עדיפה על ניקל אלקטרוליטי.
תהליך תואם CMOS למתכות נחושת
- ניקוי – Epithas CACL-067 – טיפול מקדים חומצי בטבילה לציפוי פרוסות סיליקון, כולל SOI
- מיקרו-צריבה
- משפעל (Activator) – MCT-14 – משפעל יציב מאוד לנחושת וסגסוגותיה. אמבט הטבילה שוקע פלדיום רק על פני הנחושת, והפלדיום מזניק את שלב ציפוי הניקל הכימי האוטו-קטליטי.
- ניקל כימי – NPR-18CM – לציפוי פרוסות, כולל SOI, עם מעגלים בקווים דקים.
Tech-Knowledge מספקת כיסוי מלא ותמיכה טכנית לחומרי Uyemura בישראל.